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微芯片結構和用于電化學檢測的處理

796   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:45:14
本文公開的是用于制造生物感測裝置的過程，所述過程包括下列步驟：提供基底，其具有在其表面上的導電引線；將絕緣層施加到所述表面和所述引線，所述絕緣層包括二氧化硅或氮化硅中的一個或多個；在所述絕緣層中蝕刻孔以暴露所述引線的一部分，納米結構微電極被電鍍到所述引線的一部分上；氧化二氧化硅或氮化硅中的一個或多個以形成氧化的二氧化硅或氮化硅；允許氧化的二氧化硅或氮化硅中的一個或多個與功能化硅烷起反應，用于在樣本上的目標的電化學檢測中的使用。
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