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化學過濾器使用壽命的在線檢測設備及檢測方法

997   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:35:57
目前化學過濾器在IC，TFT，OLED，PDP等電子廠房普遍采用。但化學過濾器的壽命目前還沒合適的現場測試的辦法。目前常用的檢查方法是分別對化學過濾器的進風口和出風口進行化學氣氛的采樣，然后對采樣的樣本拿到實驗室進行分析。如果分析的結果顯示進風口和出風口的化學氣氛的濃度基本上沒變化了，就說明該達到了化學過濾器的使用壽命。但是，這種檢測方式不能進行在線檢測，并且檢測成本高、周期長并且需要使用昂貴的實驗分析儀器。本發明的目的就在于針對現有技術中的不足，提供一種檢測成本低、實時性好、使用便捷、操作簡單的化學過濾器壽命檢測設備以及使用該設備的檢測方法。
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