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有機物化學分析采氣混和盤面

884   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:35:31
本實用新型公開了一種有機物化學分析采氣混和盤面，屬于半導體與面板制造技術領域，包括底座，所述底座的頂部設有多組流量控制器，且多組所述流量控制器的底部均通過安裝組件固定安裝于底座的頂部，所述底座的頂部且位于流量控制器的兩側分別設有進氣氣控閥和排氣氣控閥；本實用新型通過緊湊集成SEMI標準化的氣控閥、流量控制器等部件，構建氣體供氣線，根據需要的流程進行最佳布局實現可高速置換標準氣體、惰性氣體、樣品氣體的理想流路，在實現化學氣體不同濃度的配置與采集分析樣品的稀釋濃度調整的同時大幅縮小組件的體積，方便于維護與保養，與以往使用的系統相比更加集成化大幅節省了空間。
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聲明：
“有機物化學分析采氣混和盤面” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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