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一種月塵測量儀粘性石英晶體探頭涂膜方法

758   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:32:25
本發明公開了一種月塵測量儀粘性石英晶體(SQCM)探頭涂膜方法。使用本發明能夠在石英晶體上涂覆真空油脂，且涂膜后形成的粘性石英晶體能夠用于月塵測量。本發明首先采用石油醚對石英晶體進行清洗，并挑選頻率在9990000Hz～9995000Hz內的石英晶體進行涂膜；采用Apiezion?H脂作為粘性石英晶體的覆膜進行涂膜，并在涂膜過程中監測石英晶體的頻率，當涂抹前后的石英晶體的頻差為2MHz左右，涂膜完成，檢測石英晶體的Q值、諧振阻抗和動態電容，若滿足技術指標，則該石英晶體可以用于粘性石英晶體探頭上。
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聲明：
“一種月塵測量儀粘性石英晶體探頭涂膜方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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