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半導體器件的應力測量裝置以及方法

775   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:32:24
本發明提供的一種半導體器件的應力測量裝置以及應力測量方法，涉及半導體技術領域，包括：基臺包括相對設置的第一臺座和第二臺座；第一承接件活動裝配在第一臺座上，第一承接件上活動裝配有至少兩個第一滾軸；第二承接件活動裝配在第二臺座上，第二承接件上活動裝配有至少兩個第二滾軸；兩個第一滾軸相互平行并構成第一平面，兩個第二滾軸相互平行并構成第二平面，第一平面與第二平面相互平行，第一承接件的移動軌跡與第一平面垂直，第二承接件的移動軌跡與第二平面垂直。在上述技術方案中，滾軸可以使晶圓試樣內的半導體器件內部受到均勻的單軸應力，避免晶圓由于施加外力不當而斷裂。
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