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真空干燥裝置和真空干燥條件的確定方法

1049   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:32:24
本發明公開了一種真空干燥條件的確定方法和真空干燥裝置。真空干燥裝置包括：抽真空機構、加熱機構、真空干燥腔、形貌檢測組件和控制機構。采用該真空干燥裝置對OLED器件需要干燥的功能膜層進行干燥，且在干燥過程中可以對功能膜層的形貌進行實時掃描檢測，實現對功能膜層的形貌變化的實時監控；并可以通過對預設真空干燥條件下功能膜層形貌的實時平整度信號和基板形貌的初始平整度信號進行比較，得到適合所述功能膜層干燥的真空干燥條件。進一步地，在該真空干燥條件下對待干燥的功能膜層進行干燥，能夠提高功能層成膜的均勻性，達到提高顯示器件性能的效果。
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