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多層薄膜層間粘附性能表征及其試樣制備方法

1176   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:31:24
本發明公開了一種多層薄膜層間粘附性能表征方法及其試樣制備方法，其包括步驟：制備檢測試樣，首先解理鍍有待測多層薄膜的晶片和未鍍膜的襯底晶片，直接獲得側壁平整光滑、無損傷的薄膜小試片和襯底小試片，隨后通過試片粘結、背面開槽等步驟完成檢測試樣的制備；利用四點彎曲法(4PB)測試薄膜層間粘附力；利用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察經過4PB測試所形成的試片截面。本發明通過優化試樣的制備方法和四點彎曲法的測試參數，大幅縮短了測試周期，提高了測試成功率以及測試結果的準確性和可重復性；而通過SEM直接觀察經過4PB測試所形成的試樣截面，可以快速地確定多層薄膜層間結合最薄弱的界面，從而為相關工藝改進指明方向。
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