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基于光子晶體諧振腔的光學生化探測芯片

784   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:30:38
本實用新型涉及一種基于光子晶體諧振腔的光學生化探測芯片，包括自下而上依次層疊鍵合的硅基層、二氧化硅層和單晶硅層構成的基體，在所述基體上的單晶硅層中間刻蝕出狹縫槽，并由所述狹縫槽和其兩側的條形硅波導構成狹縫光波導，在所述狹縫光波導的光信號傳播路徑上刻蝕第一和第二光子晶體鏡面，所述光子晶體鏡面刻蝕于狹縫光波導兩側的條形硅波導上，第一光子晶體鏡面和第二光子晶體鏡面相隔一定距離，并在狹縫光波導上形成光子晶體諧振腔。本實用新型探測芯片利用光子晶體本身的色散補償效應，在大規模遠程分布式探測中實現高性能檢測，從而避免了色散等因素對檢測性能的干擾。
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聲明：
“基于光子晶體諧振腔的光學生化探測芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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