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探針伺服角度控制方法及控制模塊、基于該控制模塊的成像系統及該系統的成像方法

881   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:28:41
探針伺服角度控制方法及控制模塊、基于該控制模塊的成像系統及該系統的成像方法，涉及采用原子力顯微鏡進行微納米結構表面掃描成像的技術。它為了解決傳統的原子力顯微鏡無法對具有大傾角外斜表面、垂直側壁表面、內斜表面等結構表面實現連續可控分辨率三維掃描成像的問題。本發明通過控制探針針針尖在YZ平面內實時沿與XZ表面成Φ角的矢量上接近樣品表面進行掃描，Φ值可以自動根據已掃描的樣品表面信息進行動態調節，以此實現不同角度的表面的等分辨率掃描，有助于提高對微納米結構性能檢測及檢測效率，從而為超大規模集成電路和甚超大規模集成電路檢測提供了一種重要的工具。
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