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楊氏模量和泊松常數的超聲表面波雙向檢測方法

960   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:28:24
本發明屬于材料性能檢測技術領域,涉及一種楊氏模量和泊松常數的超聲表面波雙向檢測方法,用于檢測由各向同性薄膜淀積在硅襯底上形成的分層薄膜材料,包括下列步驟:利用短脈沖激光器在分層薄膜材料樣片表面激發出寬頻帶超聲表面波;通過壓電探測器分別在樣片表面的Si[110]方向和Si[100]方向對表面波信號進行采集,得到超聲表面波在該方向上分層薄膜材料上傳播的頻散曲線;設置多個楊氏模量和泊松常數計算出多條不同的理論色散曲線,將實驗測得的表面波實驗色散曲線和這些理論色散曲線進行擬合,可以得到與實驗色散曲線最接近的理論色散曲線,從而確定出薄膜材料的楊氏模量和泊松常數。本發明提出的方法具有快速,準確,無損檢測等特點。
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聲明：
“楊氏模量和泊松常數的超聲表面波雙向檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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物理檢測
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