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基于數字微鏡器件衍射效應的微透鏡陣列制備與檢測裝置

780   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:26:16
本發明公開了一種基于數字微鏡器件衍射效應的微透鏡陣列制備與檢測裝置，該裝置包括紫外LED光源、氦氖激光器光源、DMD器件、擴束器、第一雙凸透鏡、空間濾波器、第二雙凸透鏡、第三雙凸透鏡、雙色鏡、顯微鏡物鏡、三維電動平臺、第四雙凸透鏡以及CCD相機。該裝置能有效地工作在光刻膠曝光和微透鏡光學性能檢測兩個模式；所述的計算機通過信號線分別與紫外LED光源、氦氖激光器光源、DMD器件、三維電動平臺、CCD相機相連。本發明既可以實現在光刻微加工中的微透鏡陣列制備，也可以實現對微透鏡陣列結構的光學性能進行檢測。
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“基于數字微鏡器件衍射效應的微透鏡陣列制備與檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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