本發明提供一種納米晶材料檢測設備,包括檢測平臺和厚度檢測裝置,所述厚度檢測裝置包括:支架,所述支架設置在所述檢測平臺的一側;位移傳感器,所述位移傳感器設置在所述納米晶材料的上方,用于檢測所述檢測平臺承載納米晶材料與未承載納米晶材料之間的高度差,并基于所述高度差確定所承載的納米晶材料的厚度;升降裝置,所述升降裝置設置在所述支架上且連接所述位移傳感器,用于帶動所述位移傳感器進行升降運動。根據本發明的納米晶材料檢測設備,能夠自動化且快速地進行納米晶材料的轉移并對納米晶材料進行厚度檢測、二維尺寸檢測及電性能檢測。
聲明:
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