本發明公開了一種第二鍵合點檢測裝置及檢測方法,一種第二鍵合點檢測裝置包括:機體本體,固定安裝在機體本體上的傳送工位,設在傳送工位一側的檢測機構,以及設在機體本體上的分揀機構;所述檢測機構包括:固定連接在機體本體上的安裝架,安裝在安裝架上的光學檢測部件,安裝在傳送工位一側的電學性能檢測裝置。本發明電學檢測和光學檢測對鍵合后的芯片的第二鍵合點進行光學檢測和電學檢測排查出鍵合失效點和鍵合點分層或污染情況,對第二鍵合點的焊接牢固程度進行評估,篩查出第二鍵合點不穩定的芯片,減少生產成本。
聲明:
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