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一種探針卡、檢測裝置以及晶圓檢測方法

834   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:25:55
本發明提供一種探針卡、檢測裝置以及晶圓檢測方法，其中，探針卡包括：電路板，所述電路板具有一孔洞，具有導電圖案；圖像接收組件，設置于所述電路板的第一面；探針組件，設置于所述電路板的第二面；光學整形元件，設置于所述圖像接收組件的一側；通過探針卡的探針組件電接觸晶圓上的光源芯片實現對光源芯片的電導通，通過圖像接組件以及光學整形元件可以實現對光源芯片的光學性能檢測，本發明可以在晶圓級上實現光源芯片的檢測以及質量篩選，且可以同時實現對光源芯片進行光學性能檢測以及電學性能檢測，提高了檢測效率降低了生產成本。
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