本發明涉及一種位移補償式柔性器件雙軸拉伸電性能檢測裝置及檢測方法,其包括電源、雙軸拉伸平臺、探針、萬用表以及運動控制系統,雙軸拉伸平臺包括基座、四個滑塊以及驅動組件,四個滑塊呈十字形設置在基座上,且四個滑塊之間形成用于固定柔性器件的拉伸平臺,探針通過位移補償機構固定設置在滑塊上,探針的一端與柔性器件接觸設置,所述探針的另一端與萬用表、直流電源連接,在滑塊移動的情況下,探針與柔性器件接觸的一端在探針與柔性器件之間的摩擦力的作用下,通過位移補償機構補償探針與接觸點之間的相對位移,設計了位移補償機構,實現了相對位移的補償,因此在樣品拉伸測試過程中保證了探針與樣品接觸點始終保持穩定接觸,從而實現了實時原位檢測。
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