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一種晶圓流片用散熱性能檢測裝置

987   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:22:14
本實用新型涉及晶圓流片檢測裝置的技術領域，特別是涉及一種晶圓流片用散熱性能檢測裝置，其可節約水資源，提高使用性；同時方便移動檢測頭使其與樣品進行接觸，提高使用效果；且減輕余熱對樣品散熱效果的影響，提高使用可靠性；同時方便將樣品從限位環內取出，提高使用效果；包括工作臺、支撐架、三組檢測頭、三組顯示器、進水管、出水管和三組限位環，三組顯示器分別與三組檢測頭電連接；還包括連通管、抽液泵和加熱器，進水管輸入端和出水管輸出端分別與抽液泵輸入端和加熱器輸出端連接；支撐架包括四組第一伸縮電機和頂板；還包括放置盒和調節件，放置盒底端與工作臺頂端接觸；還包括移動件，限位環底端與放置槽內底壁接觸。
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“一種晶圓流片用散熱性能檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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