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衍射光學元件的性能檢測系統、方法和裝置

1092   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:22:10
本申請提供了一種衍射光學元件的性能檢測系統、方法和裝置，該系統包括：光發射器件，光發射器件用于發射預定光至衍射光學元件中；接收設備，包括接收屏，接收屏位于光發射器件的一側，預定光經過衍射光學元件衍射后在接收屏上形成多個光斑點；圖像處理裝置，位于接收屏的遠離光發射器件的一側，圖像處理裝置用于獲取接收屏上的多個光斑點的圖像，并根據圖像計算衍射光學元件的衍射效率、衍射均勻性以及視場角中的至少一個。該系統根據獲取的圖像計算衍射光學元件的至少一項性能參數，從而實現對衍射光學元件的性能的檢測。
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“衍射光學元件的性能檢測系統、方法和裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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