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GRIN光纖探針及其制作方法、聚焦性能檢測裝置和檢測方法

1059   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:16:41
本發明公開了一種GRIN光纖探針及其制作方法、聚焦性能檢測裝置和檢測方法。GRIN光纖探針是一種超小光學探頭，由單模光纖、無芯光纖和多模光纖通過焊接和長度切割而成。GRIN光纖探針的聚焦性能檢測裝置包括光源、探針夾具、顯微物鏡、光導管、CCD和計算機構成，光源發出的高斯光束通過光纖引線傳輸到GRIN光纖探針，并聚焦至空中某一位置，輸出的聚焦光束由顯微物鏡放大后并通過光導管傳輸到CCD靶面上進行光強分布輪廓的檢測和記錄，光強信息在計算機中進行處理和分析，進一步判定束腰位置距離探針輸出端面的距離和光斑大小。本發明提供的光學探針制作方法能實現長度不超過1毫米量級的GRIN光纖探針的制作，本發明提供的檢測裝置能實現探針聚焦性能的高精度檢測。
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