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一種高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置

885   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:14:54
本實用新型公開了一種高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置，用于檢測安裝在真空磁控濺射設備上的高真空冷陰極電離規，高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置包括真空室、用于對真空室抽真空的真空泵系統，真空泵系統包括都與真空室相連接的渦輪分子泵、羅茨真空泵、旋片真空泵，高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置還包括與真空室相連通的高真空冷陰極電離規、都與高真空冷陰極電離規相連通的直流電源和電壓表、以及與真空室相連通的皮拉尼真空計。該高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置能夠方便地檢測高真空冷陰極電離規的性能，其結構較為簡單，檢測效率較高，能夠縮短真空磁控濺射設備的停機時間，降低對生產的影響。
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“一種高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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物理檢測
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