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一種TSV孔內介質層的電學性能檢測方法

718   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:14:10
本發明涉及微電子技術領域，特別涉及一種TSV孔內介質層的電學性能檢測方法。包括：將沉積有介質層的TSV晶圓正向放置在真空環境中，晶圓上的TSV孔的開口朝上。在TSV孔內注入去離子水，并測量去離子水的流量；檢測TSV孔內的液面高度，當去離子水注滿TSV孔時，停止注入去離子水，記錄去離子水的總流量。對晶圓進行干燥，除去TSV孔內的去離子水；將晶圓反向放置，TSV孔的開口朝下。在TSV孔內注入汞，并測量汞的流量，控制汞的總流量小于記錄的去離子水的總流量；采用汞探針C-V測試儀對TSV孔進行電學性能檢測。本發明提供的TSV孔內介質層的電學性能檢測方法，能夠方便地對TSV孔進行電學性能檢測。
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聲明：
“一種TSV孔內介質層的電學性能檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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