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一種硅料清洗劑

1137   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:13:04
一種硅料清洗劑,包括了清洗劑SX1和清洗劑SX2兩部分；所述清洗劑SX1由檸檬酸、乙酸、甜菜堿和高純水配置組成，質量比為檸檬酸0.5?1份、乙酸0.2?0.5份、甜菜堿0.5?1.0份、余量為高純水；所述清洗劑SX2由氫氟酸配置去離子水制成，質量比為氫氟酸5份、余量為去離子水。有益效果在于：所使用的酸均為弱酸，不會對操作人員產生危害，安全性高；在對硅料的清洗過程中不會產生氮氧化物，對硅料表面傷害小，對環境不會產生污染，清洗后的廢液酸性弱，容易處理。
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