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光刻膠剝離液再生方法

1011   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 06:06:14
本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻膠剝離液再生方法,包括以下步驟:S1:回收剝離液新液使用后的剝離液廢液,將剝離液廢液經(jīng)過(guò)蒸餾、加壓工序,得出剝離液廢液的純化液體;純化液體中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物;S2:制備添加劑,添加劑中含有醇醚化合物、胺化合物、緩蝕劑以及潤濕劑;S3:將步驟S1的剝離液廢液與添加劑混合,重新制備剝離液新液,制備過(guò)程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。本發(fā)明對剝離液廢液進(jìn)行加壓、蒸餾等處理,得出純化液體,該純化液體中所含的物質(zhì)是剝離液新液中所含有的某些組分,而通過(guò)預先制備添加劑,可以在得出純化液體后直接加入添加劑以及原材料,重新配備剝離液新液,使得剝離液廢液得以循環(huán)再生,減少資源的浪費以及對環(huán)境的危害。
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