光刻膠剝離液再生方法

本發(fā)明公開(kāi)了一種光刻膠剝離液再生方法，包括以下步驟：S1：回收剝離液新液使用后的剝離液廢液，將剝離液廢液經(jīng)過(guò)蒸餾、加壓工序，得出剝離液廢液的純化液體；純化液體中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物；S2：制備添加劑，添加劑中含有醇醚化合物、胺化合物、緩蝕劑以及潤濕劑；S3：將步驟S1的剝離液廢液與添加劑混合，重新制備剝離液新液，制備過(guò)程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。本發(fā)明對剝離液廢液進(jìn)行加壓、蒸餾等處理，得出純化液體，該純化液體中所含的物質(zhì)是剝離液新液中所含有的某些組分，而通過(guò)預先制備添加劑，可以在得出純化液體后直接加入添加劑以及原材料，重新配備剝離液新液，使得剝離液廢液得以循環(huán)再生，減少資源的浪費以及對環(huán)境的危害。