本發明公開了一種光伏單晶大尺寸硅片料理廢氣處理方法,包括廢氣先由吸入一級吸收塔(1),通過淋洗方式,對廢氣起到均質均量預處理作用;在進入二級噴淋凈化塔(2),廢氣由塔內的導流分布裝置分布后,與吸收溶液逆向直接交叉接觸處理,然后向下進入內筒填料區域(6),進行液相反應及填料過濾,使廢氣在塔內具備較長的時間進行充分過濾接觸,產生液膜及噴淋發生傳質反應,吸收有害物質;然后依次進入三級噴淋凈化塔(3)和四級噴淋凈化塔(4)內再次進行凈化處理,最后經塔出口處設置的進口脫霧裝置除霧后,通過引風機送至25m高空達標排放。本發明的優點是保證尾氣達標排放,降低廢氣危害,提高廢氣處理效率和效果。
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