本發明公開了一種制備二氧化硅氣凝膠的方法及系統,該方法包括以下步驟:1)將多晶硅生產尾氣通入到水中進行水解,生成硅溶膠,其中,所述多晶硅生產尾氣包括二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅;2)使用堿性溶液調節所述硅溶膠的pH值為堿性,進行凝膠化處理,生成硅凝膠;3)將所述硅凝膠進行溶劑替換,替換掉所述硅凝膠中的水;4)通過超臨界二氧化碳干燥或低溫冷凍干燥,得到二氧化硅氣凝膠。該方法使用多晶硅生產尾氣作為硅源制備出二氧化硅氣凝膠,既對多晶硅生產尾氣中的氯硅烷進行回收綜合利用,又簡化了二氧化硅氣凝膠制備流程,具有較好的經濟效益,降低了原料成本,同時可以減少環境污染和固廢處理成本,提高企業的經濟效益。
聲明:
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