涉及抗蝕劑剝離液的再生方法以及再生裝置??刮g劑成分是常溫下為固體的有機物,存在殘渣濃縮器的出入口附近溫度下降時固體化而附著。再生使用完畢的抗蝕劑剝離液的再生方法具有:低沸點分離工序,分離水等低沸點物質;高沸點分離工序,將含抗蝕劑的殘留液和溶劑等作為分離物取出;殘渣濃縮工序,將前述含抗蝕劑的殘留液在殘渣濃縮器內進一步濃縮,分離前述溶劑等并返回至前述高沸點分離工序;精制工序,從前述高沸點分離工序的分離物氣化分離前述水的剩余部分作為廢液B,將分離殘留液作為剝離再生液取出;洗滌工序,使低沸點分離工序的分離殘留液在前述殘渣濃縮器內流下。
聲明:
“抗蝕劑剝離液的再生方法以及再生裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)