一種用于從由大容量金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)(120)操作產生的廢氣流中去除有毒廢物的系統,包括:第一冷阱(130),其配置成在第一壓力操作并冷凝和分離廢氣流中的有毒物質,以作為固體廢物被去除;泵(140),其連接到第一冷阱(130)并配置成增加廢氣流的壓力;熱裂解器(150),其連接到泵(140)并配置成分解在第一冷阱(130)后殘留在廢氣流中的有毒物質;第二冷阱(160),其連接到熱裂解器(150)并配置成在高于第一壓力的第二壓力操作,并冷凝殘留在廢氣流中的分解后的有毒物質,以作為固體廢物被去除;和洗滌器(170),其連接到第二冷阱(160)并配置成吸收在第二冷阱(160)后殘留在廢氣流中的有毒物質。還公開一種用于從由大容量金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)(120)操作產生的廢氣流中去除有毒廢物的方法。
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