基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
新能源	鋰鋰礦鋰化合物金屬鋰鎳鎳礦鎳鐵精煉鎳鎳鹽高冰鎳 MHP 鈷電解鈷鈷粉氯化鈷四氧化三鈷硫酸鈷鈷中間品氧化鈷碳酸鈷鈷酸鋰錳錳礦電解錳電池級硫酸錳鋰電正負極三元前驅體磷酸鐵正極材料石油焦針狀焦包覆瀝青人造石墨硅碳負極硅氧負極電解液隔膜隔膜電解液電芯

基礎金屬

銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材

稀貴金屬

稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼 小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯 貴金屬白銀

新能源

鋰鋰礦鋰化合物金屬鋰鎳鎳礦鎳鐵精煉鎳鎳鹽高冰鎳 MHP 鈷電解鈷鈷粉氯化鈷四氧化三鈷硫酸鈷鈷中間品氧化鈷碳酸鈷鈷酸鋰錳錳礦電解錳電池級硫酸錳 鋰電正負極三元前驅體磷酸鐵正極材料石油焦針狀焦包覆瀝青人造石墨硅碳負極硅氧負極 電解液隔膜隔膜電解液電芯

基片處理過程中用于消除廢白粉的裝置

1185 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 04:51:17

本發明提供了一種用于半導體制造的基片處理系統,該系統包括一處理室,和一排氣系統;以及一用于提供清潔氣體的裝置。該排氣系統包括一個真空泵,一個真空排氣管道,和一個過濾裝置,該過濾裝置裝在真空泵的下游,且位于排氣管道內。本發明還提供一種方法,用于消除或減少排氣管道中固體殘余物的聚集,該方法是這樣實現的:將清潔氣體引入處理室并進一步引入排氣管道;通過真空泵下游和排氣管道內的過濾裝置來捕獲固體殘余物;加熱過濾裝置,以再激活清潔氣體,這些氣體與被捕獲的固體殘余物發生反應,將固體殘余物轉換為氣態殘余物;以及通過排氣管道釋放氣態殘余物?？捎迷缓头种檬降入x子體源清潔法與上述方法相結合使用。

登錄解鎖全文

聲明：

“基片處理過程中用于消除廢白粉的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)