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物理法回收硅片切割廢砂漿中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法

1185   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:46:54
本發明公開了一種物理法回收硅片切割廢砂漿中的切割液、晶硅粉和碳化硅微粉的方法，包括以下步驟：A1、將廢硅片切割液用去離子水稀釋至含水量50％，攪拌均勻，進行固液分離；A2、將步驟A1分離下來的固體物料按照溢流罐實際裝填量裝入溢流罐，稀釋至含水量50％，同時啟動超聲波換能器機組、攪拌裝置；充分攪拌均勻后停止攪拌，超聲波換能器機組繼續運行直到把所有晶硅粉溢流完畢方可停機；超聲波換能器機組運行過程中，打開溢流罐進水閥，進行溢流；A3、溢流罐1中沉淀下來的碳化硅微粉進入甩干機，進入閃蒸式干燥機烘干，再經過超聲波振動篩將大顆粒篩掉，包裝后即可得到成品碳化硅微粉。加工、操作、控制、使用的簡便，環境污染的治理或根治。
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