本發明提供了一種酸性氯化銅蝕刻廢液沉淀取銅電解再生方法及其裝置,所述方法包括步驟,步驟一:使用電解槽在蝕刻過程中實時對蝕刻工作液進行氧化,電解槽分成為電解槽陽極區和電解槽陰極區;步驟二:將經過電解處理的陽極電解液、經過電解處理的陰極電解液、經過氧化處理的陰極電解液、氯化銅蝕刻廢液中的至少一種或一種以上的混合液與銅提取劑混合,反應生成銅鹽沉淀物;步驟三:所得的固液混合物經固液分離后獲得固體銅鹽沉淀物和酸性濾液,將所得的酸性濾液直接作為再生蝕刻子液回用于蝕刻生產線,所得的固體銅鹽作為銅的回收產品。本發明有效解決了現有酸性氯化銅蝕刻液在生產過程中蝕刻廢液的增量問題。
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