本發明提供了一種硅片切割廢砂漿中液體的回收循環再生利用工藝,首先將硅片切割廢砂漿原料進行固液分離,分離出固體碳化硅(SIC)和液體聚乙二醇(PEG)兩塊;其中液體聚乙二醇經過過濾、脫色、脫水、純化、調配、包裝等流程可從每噸廢砂漿中可提純45%的符合硅片切割要求的聚乙二醇液體(切削液)。本發明能夠及時處理硅片切割廠家所產生的砂漿廢料,回收的聚乙二醇可直接供切割廠家循環使用,具有較好的經濟與社會效益,為節約能源和環境保護做出貢獻。
聲明:
“硅片切割廢砂漿中液體的回收循環再生利用工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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