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多晶硅生產過程中產生的高溫廢氮氣的回收利用裝置

1035   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:28:05
本實用新型提供一種多晶硅生產過程中產生的高溫廢氮氣的回收利用裝置，包括：過濾單元，其輸入端接入高溫廢氮氣，其輸出端與冷卻單元的輸入端相連，用于去除高溫廢氮氣中的固體顆粒雜質，并將已去除固體顆粒雜質的高溫廢氮氣輸出至冷卻單元；冷卻單元，其輸出端與吸附單元的第一輸入端相連，用于對已去除固體顆粒雜質的高溫廢氮氣進行降溫處理，并將低溫廢氮氣輸出至吸附單元；吸附單元，其輸出端與氮氣用戶相連，其內填裝有吸附劑，用于去除低溫廢氮氣中的氣體雜質，并將純化后的低溫氮氣輸出至氮氣用戶。本實用新型所述回收利用裝置不但能有效回收利用高溫廢氮氣中的氮氣，還能有效降低高溫廢氮氣對環境的污染。
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