本發明提供了一種酸刻蝕硅晶片廢酸液處理方法和系統,該處理方法包括:將鈉鹽溶液添加到酸刻蝕硅晶片廢酸液中,并持續攪拌30~180min,形成第一固液混合物,通過離心,得到氟硅酸鈉固體和第一濾液;向第一濾液中添加氫氧化鈉溶液,控制pH至2?4,并持續攪拌20~60min,形成第二固液混合物,通過離心,得到氟化氫鈉固體和第二濾液;向第二濾液中添加氯化鈣溶液,調節pH至2?4,持續攪拌20~60min,形成第三固液混合物,通過離心,得到氟化鈣固體和第三濾液;向第三濾液添加石灰乳,調節pH至8?9,分離沉淀物和第四濾液,回收第四濾液,并將沉淀物作為固廢處理。本發明提供的方案實現了對廢酸液資源化利用。
聲明:
“酸刻蝕硅晶片廢酸液處理方法和系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)