本發明公開了一種利用固體激光器無損剝離GaN與藍寶石襯底的方法,是以固體激光器為激光光源,使用周長為3~1000微米,且兩個最遠角距離或最長直徑不超過400微米的小光斑進行逐點逐行激光掃描,其中小光斑內部的能量分布情況是:光斑中心能量最強,向四周能量逐漸變弱。本發明實現了小光斑無損激光剝離,改進了激光剝離掃描方式,從而實現了無需對版的盲打剝離方法,簡化了激光剝離工藝過程,提高了效率,降低了廢品率,為激光剝離工藝產業化掃清了障礙。
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