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利用固體激光器無損剝離GaN與藍寶石襯底的方法

1215   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 04:25:53
本發明公開了一種利用固體激光器無損剝離GaN與藍寶石襯底的方法,是以固體激光器為激光光源,使用周長為3~1000微米,且兩個最遠角距離或最長直徑不超過400微米的小光斑進行逐點逐行激光掃描,其中小光斑內部的能量分布情況是:光斑中心能量最強,向四周能量逐漸變弱。本發明實現了小光斑無損激光剝離,改進了激光剝離掃描方式,從而實現了無需對版的盲打剝離方法,簡化了激光剝離工藝過程,提高了效率,降低了廢品率,為激光剝離工藝產業化掃清了障礙。
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“利用固體激光器無損剝離GaN與藍寶石襯底的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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