硅烷類(lèi)合成尾氣回收裝置

本實(shí)用新型涉及一種硅烷類(lèi)合成尾氣回收裝置，其包括進(jìn)氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機、第二冷凝器以及進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐；其中，所述進(jìn)氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機、第二冷凝器、進(jìn)壓縮尾氣緩沖罐和合成爐依次通過(guò)管道連接；所述進(jìn)氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設有一自動(dòng)調節閥。本實(shí)用新型的硅烷類(lèi)合成尾氣回收裝置具有結構簡(jiǎn)單、成本低、穩定可靠且不會(huì )產(chǎn)生新的廢水等諸多優(yōu)點(diǎn)。