本發明涉及一種去除石英砂粉中羥基的方法,先將高純石英物料送入高溫真空爐中,升溫至1000~1050℃,通入H2或H2與氮氣和/或氦氣的混合氣體作為還原氣體,進行高溫還原處理,時間不少于2小時,然后開啟真空系統,將溫度升至1470~1500℃,真空度6.0×10?6~7.0×10?6pa,進行真空脫氣處理,時間3~4小時,即得高純度低羥基石英砂粉物料。該方法制備出的石英砂粉中羥基含量低于3ppm。
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