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硅片逆流清洗槽

744   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 03:03:19
本實用新型涉及一種硅片逆流清洗槽，包括頂部敞口的槽體，槽體內呈上下分布有若干頂部敞口的水盒，水盒水平設置且其一端為固定端并與相應槽體內壁固連、另一端為自由端并與相應槽體內壁之間留有第一間隙，相鄰兩水盒的固定端相反，每個水盒的上方均水平且轉動設有清洗輸送網帶，清洗輸送網帶沿對應水盒的固定端至自由端輸送且其尾端延伸至第一間隙上方并與相應槽體內壁之間留有第二間隙，位于水盒上方的清洗輸送網帶的上半部分的上下方均設有中空的沖洗板，兩沖洗板相對的一側上均連通有若干噴頭，噴頭朝向對應的水盒固定端向下傾斜設置。本實用新型可實現對硅片的多次逆流清洗，并對清洗廢水有效回收再利用，清洗效果更佳，更加實用。
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聲明：
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