本發明提出了一種含氟化鈣廢料制備氟化氫和四氟化硅的方法,包括,(1)含氟化鈣廢料與氟硅酸反應生成氟硅酸鈣和氫氟酸;所述氫氟酸與所述含氟化鈣廢料中的二氧化硅反應生成氟硅酸;(2)將步驟(1)中的物料進行固液分離,氟硅酸回用到步驟(1)中;(3)將步驟(2)中分離得到的氟硅酸鈣與濃硫酸反應,生成氟化氫氣體、四氟化硅氣體和硫酸鈣固體。本發明中工藝步驟之間是連續循環進行的,可形成連續化生產線;通過氟硅酸與氟化鈣反應,產生氟硅酸鈣這個中間產物,使得濃硫酸與氟硅酸鈣干法反應生成四氟化硅氣體和氟化氫氣體。本發明可達到減少環境污染,變廢為寶,提高經濟效率的目的。
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