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去除硅片表面漿料的噴淋裝置

960   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:54:32
本實用新型涉及一種去除硅片表面漿料的噴淋裝置，包括清洗槽、水箱、噴淋嘴、沉淀池和過濾器，清洗槽安裝在地面上設置的地槽內，水箱包括水箱一和水箱二，分別設置在清洗槽兩端，且在其前端對應設有噴淋管一和噴淋管二，兩個噴淋管都通過管旋轉連接器固定在清洗槽內，兩個噴淋管上都設有多個噴孔，在每個噴孔內安裝有噴淋嘴，清洗槽內設置有鋼板，在鋼板下端設有篩板，篩板下端設有廢水池，沉淀池包括一級沉淀池和二級沉淀池，一級沉淀池的進水口與廢水池的出水口管道連接，出水口連接二級沉淀池的進水口，二級沉淀池的出水口連接過濾裝置的進口；本實用新型降低生產成本，增加硅片噴淋沖洗幅度范圍，同時降低硅片清洗臟污率，從而降低硅片隱裂。
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聲明：
“去除硅片表面漿料的噴淋裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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