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高比重鎢基合金蝕刻劑及其配制和使用方法

710   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:43:41
本申請提出了一種高比重鎢基合金蝕刻劑及其配制和使用方法，涉及半導體制造領域。一種高比重鎢基合金蝕刻劑，按重量百分比計算，包括以下組成：強氧化劑18?30％、催化劑6?15％、緩蝕劑0.1?1.0％、穩定劑1?3％、pH緩沖劑1?5％，余量為水；所述蝕刻劑的pH為13?14。配制方法為：往水中加入催化劑，再添加強氧化劑，混合均勻后加入緩蝕劑、穩定劑和pH緩沖劑，調節pH為13?14，即可配制得到所述高比重鎢基合金蝕刻劑。本配方選取的化學試劑對作業人員具有較低的健康風險系數，且作業后產生的工業廢水具有較低的環境風險系數，克服了現有工藝下作業安全風險性高和環境污染負荷大的特點。
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“高比重鎢基合金蝕刻劑及其配制和使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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