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用于制備多元素改性鋁化物涂層的化學氣相沉積設備

1018   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:40:08
一種用于制備多元素改性鋁化物涂層的化學氣相沉積設備，包括真空反應腔室、氣體供給控制系統以及真空與尾氣處理系統，其設備工藝參數靈活性提高，涂層成分靈活、可控，產品一致性良好，氣體供給控制系統的每一路工藝氣體管道上都依次設置有氣體減壓閥、體積流量計和質量流量控制器，實現化學氣相沉積工藝的高精度控制。本實用新型結構簡單，操作方便，無包埋工藝，無須涂后清洗，減少了工業廢水多的排放，能夠滿足改性鋁化物涂層工業生產和環保要求，特別是用于航空發動機膜冷渦輪葉片或地面發電用重型燃氣輪機透平葉片內冷通道表面多元素改性鋁化物涂層的生產，涂層厚度均勻、葉片內孔道表面涂層全覆蓋，同時保證葉片外表面無有害厚度的涂層生成。
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