本實用新型屬于半導體領域,具體涉及一種應用于半導體擴散片生產的微粒廢水處理系統,包括依次連接的集水池、PH調節池和助凝沉淀池,其中,助凝沉淀池中的上層清液依次抽至催化氧化池、水解酸化池、接觸氧化池和回用收集池,助凝沉淀池底部污泥依次抽至污泥濃縮池和污泥壓濾機。本實用新型所具有的有益效果是:(1)回收水質可直接回用作生產洗滌用水、廠區綠化、消防補充用水等;(2)整個處理過程流程短、占地小、能耗低,易于實現自動化控制,系統運行可靠,運行費用較低,真正實現污水、廢水資源化,增加可利用的水資源,有利于實現廢水無害化,防治水污染。
聲明:
“應用于半導體擴散片生產的微粒廢水處理系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)