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應用于半導體封裝制程清洗工序的廢水循環再生系統

861   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 01:05:10
本實用新型公開了一種應用于半導體封裝制程清洗工序的廢水循環再生系統,其包括連通于市水入口的過濾C線,連接于原水存儲桶的輸出端的過濾A線和過濾B線,所述過濾A線,過濾B線和過濾C線的輸出端均連通于純水存儲桶,純水存儲桶的輸出端輸出的純水輸送至清洗裝置,經清洗半導體封裝件后的廢水再次溢流至原水存儲桶處,再次經凈化系統凈化后循環利用,實現廢水再生。其通過過濾A線,過濾B線和過濾C線共同完成對水質的凈化處理,并與清洗裝置形成一個循環閉環再生系統,不僅節約了水資源,而且大大降低了工業生產成本。
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“應用于半導體封裝制程清洗工序的廢水循環再生系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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