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具有陷光結構的鈣鈦礦光電探測器及制作方法

1000   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-25 02:15:03
本發明公開了一種具有陷光結構的鈣鈦礦光電探測器及制作方法，包括自下而上依次分布的具有SU8表面納米陷光陣列的減反層、ITO玻璃襯底、ITO納米陷光結構、空穴傳輸層、鈣鈦礦光活性層、電子傳輸層，在電子傳輸層上方設有陰極，在ITO納米陷光結構上方設有陽極；納米陷光陣列的減反層為SU?8減反射膜，減反射膜具有類半球結構的表面減反陣列的陷光結構；ITO納米陷光結構為具有二維結構孔形或柱形陣列結構。該結構具有良好的陷光效果，增加光程，增強有效光吸收，產生更多的載流子和更大光電流，提高明暗對比度、外量子效率和光電靈敏度。
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“具有陷光結構的鈣鈦礦光電探測器及制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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