本發明公開了一種表面圖案化有機無機雜化鈣鈦礦薄膜的制備方法。本發明采用軟模板壓印工藝結合氣相輔助法,以PDMS作為軟模板印章,復刻光盤光柵圖案,通過兩步成膜法于玻璃基底上制備了高純度與高質量的圖案化有機無機雜化鈣鈦礦薄膜。與現有圖案化加工工藝對比,本發明所采用的方法操作便捷且成本低廉,圖案化薄膜的質量與純度高,易于大規模大面積制備。該制備方法為商業制備偏振光電探測器吸光層提供了一種有效的途徑。
聲明:
“表面圖案化有機無機雜化鈣鈦礦薄膜的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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