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溶液法生成鈣鈦礦薄膜的成膜方法及其器件應用

1370   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-01 00:40:05
本發明提供了一種溶液法生成鈣鈦礦薄膜的成膜方法及其器件應用，使用有機胺鹽酸鹽作為成膜添加劑，輔助鈣鈦礦形成致密、均勻的薄膜，并應用在光伏太陽能電池及光電探測器的器件上。本發明的方法包括：含有機胺鹽酸鹽的鈣鈦礦前軀體溶液的配置、溶液的旋涂成膜工藝、成膜后的熱處理工藝和光電器件的制備。本發明技術方案能夠在低溫、短時間內獲得致密、均勻的半導體鈣鈦礦薄膜，將這些薄膜用于光電器件，可以獲得良好性能。
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“溶液法生成鈣鈦礦薄膜的成膜方法及其器件應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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