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切削懸浮液回收的方法

1234   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:25
本發明公開了一種切削廢懸浮液回收的方法,其特征在于將硅晶片加工工藝中的線切削廢砂漿進行多級處理,包括如下步驟:固液分離、懸浮液的初級過濾、懸浮液的精濾、懸浮液的濃縮干燥。本發明的方法使回收的聚乙二醇(PEG)基或油基懸浮液達到與全新原料相同或相近的性能指標,并滿足硅晶切片工序的使用要求,可完全替代新料的回收方法,通過該方法可以實現同一批料多次回收循環再利用的目的,不僅最大限度地提高了原材料的使用效率,降低了硅片的生產成本,而且避免了廢砂漿排放給環境造成的污染。
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