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可調控加熱功率的真空擴散泵

769   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:22
本發明公開了一種可調控加熱功率的真空油擴散泵，包括擴散泵與擴散泵相連接的高功率瓷管可調繞線電阻裝置，瓷管可調繞線電阻裝置包括變壓調節器、立式波紋繞制電阻、表面涂敷絕緣樹脂漆、固定元件、接線端子；將所述瓷管可調繞線電阻裝置與擴散泵加熱元件相連接。本發明的目的在于提供了一種可調控功率的真空擴散泵。設計實用、新穎，增加了高功率瓷管可調繞線電阻外部裝置，可實現擴散泵的快速啟動，正常工作、高真空狀態三檔工作狀態，能夠根據實際情況控制加熱元件的加熱功率，提高真空油擴散泵的抽氣效率以及極限真空度，操作簡單，實用性強，利用推廣。
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“可調控加熱功率的真空擴散泵” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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