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硅片切割廢料回收制備高純硅的方法

1368   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:22
本發明涉及一種硅片切割廢料回收制備高純硅的方法，屬于硅資源高值化再生利用技術領域。本發明基于硅片切割廢料中高純硅含量高、表面氧化和金屬雜質富集表面的特點，提出硅片切割廢料“真空熔煉精煉?真空定向鑄錠提純”直接制備高純硅的方法，即以新鮮硅片切割廢料為原料，在隔氧或惰性氣體下進行預處理，在真空條件下將硅片切割廢料熔化、扒渣、精煉，再進行硅熔體的真空定向鑄錠提純，得到純度6N級以上的高生硅產品。本發明所得的純度6N級以上的高生硅產品可以直接或者兌摻用于單晶拉制與鑄造單/多晶硅晶體生長，具有設備要求簡單、無需添加劑、流程短、產品附加值高、操作容易、適合規?；I生產的優勢。
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