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開管涂源全擴散制造低功耗雪崩晶閘管芯片的方法

1038   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:22
本發明涉及一種開管涂源全擴散制造低功耗雪崩晶閘管芯片的方法，包括1)工藝環境準備；2)超聲波清洗；3)硅片清洗；4)清洗石英架、石英砣：5)硅片硼-鋁擴散；6)氧化；7)一次光刻；8)磷擴散；9)割圓；10)燒結；11)二次光刻與蒸發一次成型；12)合金；13)臺面處理；14)測試。與現有技術相比，本發明的有益效果是：1)采用硼-鋁一次擴散，保證PN結前沿平緩及產品的一致性；2)采用二次光刻與蒸發一次成型技術，簡化工序，降低物理損傷，提高成品率和產品性能的可靠性；3)在超凈工藝環境中操作，特殊的清洗方法及優質清洗試劑保證長的少子壽命；4)新型燒結技術保證燒結變形小，粘接牢固，保證擴散參數穩定不變。
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