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高結溫雪崩二極管芯片組件及其制造方法

1033   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:03
本發明公開了一種高結溫雪崩二極管芯片組件，包括正面金屬片、二極管擴散圓片和背面金屬片；二極管擴散圓片的兩面均設有鎳膜；兩層鎳膜的外側面與兩金屬片的內側面設焊料層；正面金屬片上設有應力吸收槽路，應力吸收槽路上設有溝槽，溝槽上設有聚酰亞胺鈍化層。本發明還公開了一種高結溫雪崩二極管芯片組件的制造方法，采用聚酰亞胺作為鈍化層，避免玻璃鈍化固有的高溫漏電大，膨脹應力大等缺陷，提升了二極管結溫；而且減少所有光刻，節約了成本，同時避免了光刻不良引入的缺陷，帶來了極大的經濟效益；本發明引入晶圓極的內引線金屬電極片，減少了臺面工藝帶來的翹曲、碎片，提高浪涌能力，提高成品率，并方便后續封裝工藝。
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